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光学检测仪
视觉系统
工业相机 2M像素彩色数字相机
分辨率 10-20um可调
视野尺寸 32x24mm（分辨率：20um）
取像与运算时间250mm／FOV 4-5FOV／s
运动系统
X／Y轴驱动系统交流伺服驱动系统
X／Y轴编码器分辨率 0.3um
机械运动机构精密级滚珠丝杠＋滑轨
运动速度 500mm／s
运输轨道
适用基板尺寸 50x50–330x250mm
适用基板厚度 0.3-6mm
可适应基板弯曲度±3mm
使用基板上下净高上：30mm 下：60mm
外型尺寸
长x宽x高：700x1205x1362mm（不含信号灯）
设备重量 460kg
电源规格
单相交流220V±10％，50／60Hz
气压要求 0.5Mp
通讯方式标准SMEMA接口
JUTZE（矩子）AOI光学检测设备